ヘリウムガスを使用したリークテスト方法

真空法 ワーク内を真空にする方法 ● 真空吹付け法 ● 真空フード法

加圧法 ワーク内にヘリウムガスを加圧する方法 ● スニファー法 ● 真空チャンバー法 ● 加圧積分法 ● ボンビング法（ワークに加圧口がないもの）

 

テスト方法の選択例

 

各テスト方法の特長

ランニングコストを低減させるヘリウムガスミキサー・ヘリウムガス回収装置もございますので別途ご相談ください。
イニシャルコスト・ランニングコストによりご提案いたします。

● 真空法

テスト方法	漏れ検出 精度	全体の 測定	漏れ箇所 特定	自動化	イニシャル コスト	ランニング コスト	メンテナン スコスト	対象製品
真空吹付法	1E-09Pa･m3/sec以上	×	○	△	○	△	△	LDS3000
真空 フード法	1E-09Pa･m3/sec以上	○	×	○	△	△	△

● 加圧法

テスト方法	漏れ検出 精度	全体の 測定	漏れ箇所 特定	自動化	イニシャル コスト	ランニング コスト	メンテナン スコスト	対象製品
真空 チャンバー法	1E-07Pa･m3/sec以上	○	×	○	×	×	×	LDS3000
ボンビング法	1E-09Pa･m3/sec以上	○	×	○	○	×	×
スニファー法	1E-06Pa･m3/sec以上	×	○	△	○	×	△	P3000(XL)
加圧積分法	1E-05Pa･m3/sec以上	○	×	○	△	×	△	T-GUARD

テスト方法詳細

真空法

● 真空吹付法

ワーク内を真空排気して、外側からスプレーガンでヘリウムを吹付けた時にワーク内に漏れてきたヘリウムを検出する方法です。
 

● 真空フード法

ワーク内を真空排気して、外側をフードで覆い、フード内にヘリウムを加圧してワーク内に漏れてきたヘリウムを検出する方法です。
 

加圧法

● スニファー法

ワーク内を真空引き後、ヘリウムガスを加圧して、外側に漏れたヘリウムをスニファープローブで吸引して漏れを検出する方法です。
 

● 真空チャンバー法

ワークをチャンバーの中に入れ、ワーク内を真空引き後、ヘリウムを加圧してチャンバー内を真空排気して真空のチャンバー内に漏れたヘリウムを検出する方法です。
 

● 加圧積分法

ワークをフードの中に入れ、ワーク内を真空引き後、ヘリウムを加圧して漏れ箇所からフード内に漏れるヘリウムを一定時間溜込み、フード内に溜まったヘリウム(濃度)を検出する方法です。
 

● ボンビング法

ワークをタンク内に入れ、一定時間真空引き後、ヘリウムで一定時間加圧放置してその後、タンクからワークを取出しチャンバー内にワークを入れてチャンバー内を真空排気して漏れによりワーク内に入ったヘリウムを検出する方法です。
 

リークテスト装置 加圧積分法(G-FINE)

コスモ計器では低コストで簡単にヘリウムリーク検査ができる加圧積分法を推奨しております。
 

加圧積分法 回路構成

ヘリウムリークディテクター T-GUARD 回路構成

一般的なヘリウムリークディテクターとは違い、バックグランドヘリウム計測からリーク量の計測まで自動で行います。

T-Guard測定工程 1. グロス1測定（大リーク測定） 2. ファイン1測定（チャンバー内ヘリウム量測定） 3. 蓄積 4. グロス2測定（大リーク測定） 5. ファイン2測定（リーク測定） 6. パージ（リークディテクタークリーニング）

ヘリウム検出センサー 原理

一般的な磁場偏向型質量分析のヘリウムリークディテクターとは違い、大気圧下での測定に特化した原理でヘリウムを検知しています。

石英膜はヘリウムのみを透過させます。
ヘリウムが25kPaに調圧されたセル内に入ってくるとヘリウムだけが石英膜を通過して高真空に脱気されたセル内の圧力が上昇します。
圧力上昇すると真空ポンプが動作する事により生じる電流値を漏れとして検知します。

リークテスト装置 真空チャンバー法

コスモ計器ではヘリウムリークテストで一般的な真空チャンバー法の取扱いもしております。
 

真空チャンバー法 回路構成

ヘリウムディテクター LDS3000 回路構成

LDS3000に入ってきたヘリウムはターボ分子ポンプの逆拡散現象により分析管に到達してヘリウムリーク量の測定を行います。
各ポートを接続圧力ごとに自動で切り替えるバルブを内蔵した一体型のリークディテクターもございます。
仕様については弊社へお気軽にご相談ください。
 

ヘリウム検出 原理

180°磁場偏向型質量分析管

1.分析管に到達した分子がフィラメントの電子により+イオンに変換され加速電子方向に移動します。
2.＋イオンが磁界を通過する事で気体の質量により軌道が分かれます。
3.＋イオンを持ったヘリウムのみイオンコレクタに到達してプリアンプで電流として増幅して計測します。