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• 水没式目視検査に比べて人手を要しない自動検査が出来ることです。また、液体を使いませんのでワークを汚しません。
• 検査規格を定量化でき、人間のご判断による見逃しがなくなります。
• 短時間で高精度の検査が出来ランニングコストも低くコストダウンがはかれます。

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1 atm.mL/s またはatm.mL/min1秒間または1分間に大気中に漏れる空気の容積。atm.は省略することが多い。
1 μgr/s またはμgr/min1秒間または1分間に大気中に漏れる空気の重量。
1 μgr(マイクログラム)⇒0.83×10^-3mL(1atm 20℃において)
1 Lusec(ルーセック)1 Lの真空容器において毎秒1μHgの圧力上昇のある漏れ量。
1 Lusec=1/760 mL/sec≒1.32×10^-3mL/s
1 Torr･L/sec1 Lの真空容器において毎秒1 Torrの圧力上昇のある漏れ量。
1 Torr･L/s=1000 Lusec≒1.32 mL/s
1 Pa･m³/s
1 Pa･ m³/s = 9.869 atm mL/s
1atm･mL/s = 1.013 × 10^-1Pa･m³/s

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平衡及び検出工程において、漏れにより生じる差圧ΔＰはオートゼロ動作後、下式にて演算され、漏れ量(リークレイトmL/s、またはmL/min)の単位で表示されます。

Ｑ：リーク量（mL/s）
Ｋ(Ve)：リーク係数（等価内容積mL）
ΔＰ：差圧（Pa）
ΔＴ：時間（s）
検出工程で漏れ量の表示が変化せず一定となればそれ以上の検出時間は不要となり検査時間短縮も可能です。

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(1)等価内容積

ワークとテスタを含む測定系全体の内容積により、漏れによる差圧変化量は異なります。また、計測時間にも大きく関連します。
エアリークテスターではこの内容積として、計測系全体の圧力変動要因（ワークや差圧センサの内圧による容積変化）の影響を考慮した等価内容積（Ve）と呼ぶ係数を使用します。等価内容積は次式を用いて算出することができます。またエアリークテスターLS-1842型では、オートリークキャリブレータ（ALC）、またはリークマスタを使用して直接Ve値を計測することができます。
Ve=Vw+Vt+｛Ks(1+Vw/Vm)+Kw}(101.3+P)
Ve：等価内容積（mL）
Vw：ワークと配管の内容積（mL）
Vt：テスタ内容積（mL） Vt = 9mL
Ks：圧力に対するセンサの容積変化率（mL/kPa）
Kw：圧力に対するワークの容積変化率
P：テスト圧（kPa）

上記の条件のとき
Ks(1+Vw/Vm)+Kw=2Ks
l Ks＝0.01ｍL/ｋPaのとき
Ve=Vw+Vt+0.02（101.3+P）
l Ks=0.005mL/ｋPaのとき
Ve=Vw+Vt+0.01（101.3+P）

(2)漏れ量

等価内容積と漏れ量Ｑの関係式

Q ：漏れ量（mL/min）
ΔP：差圧（Pa）
Ve：等価内容積（mL）
T：検出時間（s）

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加圧・平衡時間の求め方
実験や立ち上げ調整時に計測時間を設定するときは、まずワークや治具に確実に漏れのないことを確認します。その後、最初は加圧時間を十分に長くとりデータ取りを行います。
徐々にこの時間を短くしてデータがゼロ近くで安定している最短の加圧、平衡時間を求めます。
目安の時間：
インテリジェント1エア回路のとき（対象リークテスター型式：　LS-1866、LS-R700など）
加圧時間（CHG）：平衡時間（BAL）＝ 3:1 又は 4:1

インテリジェント2エア回路のとき（対象リークテスター型式：　LS-1881、LS-R900、LS-R700など）
加圧時間(CHG)：平衡1(BAL1)：平衡2(BAL2)＝5：5：1
注意：ワーク容積が小さい時は、等圧タイムは不要です。BAL1=0秒に設定します。
これらの時間は通常、実際の機械装置治具の状態やワークの特性に従いますので、実験により求める必要があります。なお、過去に実績のあるワークについては推定することもできます。
必要な加圧安定時間（加圧時間CHG＋平衡時間BAL）↓

低圧←テスト圧→高圧

※上図に検出時間は含んでいません。
※要求される精度によっても時間は変ります。

リークマスタLM-１C（特許第2042571号、第2042578号）というものがあります。

• 正確に一定の漏れを、長期間安定して発生します。
• トレーサビリティ証明書の発行が可能です。
• テスタ前面のCALポートに直接取り付けられます。(テスタ機種により不可の場合があります)
• ワーク配管の途中に取り付けるときは付属のアダプタ(接続R1/8―M10×1.5)を使用します。封止プラグとの交換が容易にできます。
• ご発注時は下記範囲のテスト圧とリーク量をご指定下さい。
• テスト圧： 1 kPa ～ 0.5 MPa 、－13 kPa ～ －53kPa
• リーク量：0.1～20mL/min
• 特注仕様に応じます。
• 添付される各圧力ポイントの流量データを使用して等価内容積を求めたり、リーク係数(K)チェックを行なうことができます。

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(1)原理・構造

（マスタ比較方式ではリークのない良品ワークをマスタとして使用しますがマスタチャンバはこのマスタに代るものです。）
ワークが加圧されると内部のエアは急激に温度上昇しますが、ワーク内面との熱交換を行うことにより温度は下降します。このときの温度の特性は内容積と表面積の割合の影響を大きく受け、表面積が大きいほど温度の安定は早くなり圧力も安定します。マスタはワークとの差圧で捉えた場合、この温度の下降カーブにより生じる圧力変化を打ち消す働きをもちます。
マスタチャンバはフィンの枚数や並べ方を変えることにより、容積と表面積を変え温度の下降カーブをワークに合わせることができます。

(2)マスタチャンバを使用するメリット

• ワークの特性に合わせ調整できます。
• 設置場所を広く取りません。
• ワークを利用してマスタを作る場合にくらべよりコストダウンがはかれます。
• Oリングシールなので漏れに対して長期間安心して使用できます。
• マスタリングやオートドリフト補正と併用すれば多種ワークに対し一つのマスタチャンバで対応できます。

外部排気弁を使用してみてはいかがでしょう。外部排気弁とはこのようなものです。

• ワーク内に水･油などが少量残っている場合、または水没目視併用の検査装置に使用される場合などは排気時にワークからこれらの異物がテスタ内に入り故障の原因となる可能性があります。ワークの近くにこの排気弁ユニットを設置することにより故障を未然に防止できます。
• ゴミにも強い構造の特殊な空気作動弁を使用しています。
• 排気弁の動作はテスタ本体で制御できます。