エアリークテスターの検査方式概要

1. 基本原理
2. 差圧センサーの概要
3. 差圧検出方式とゲージ圧降下方式（直圧検出方式）の比較
4. 各種の検査方式と選定の目安

1.基本原理

(1)差圧式圧力降下方式
空気圧を被検査物（ワーク）に印加後、内圧の変化を計測して漏れを判定する方法です。
漏れのない基準品（マスター）を用意、ワーク、マスターに同時に加圧します。高感度の差圧センサーにより、漏れによるワーク内の圧力変化をマスター内の圧力変化との差として検出します。

(2)エアリークテスターの動作
A起動：ワークをクランプシール後に起動信号を入力します。
B加圧行程（CHG）：ワーク、マスターにテスト圧を印加する行程です。内圧がある程度安定するまでの時間が必要です。
C平衡行程（BAL）：テスター内の弁AV1、AV２を閉じて検査部を閉回路にし、ワークとマスター間の圧力差を検出します。この行程は弁閉止後の圧力の変動が安定するのを待つ時間であると共に、大漏れを検出する行程にもなります。
D検出行程（DET）：微小な漏れの検出を行います。
E排気・完了：合否判定信号を出力、テスター内のエアブローを行うと共にワーク内エアーを排気します。

オートリークキャリブレーターについては設定の基礎の「リークキャリブレーターの実際」を参照願います

(3)ワーク内圧の変化と漏れ量の表示
平衡及び検出行程において、漏れにより生じる差圧ΔＰはオートゼロ動作後、下式にて演算され、0.1s毎に漏れ量（リークレイト mL/s、またはmL/min）の単位で表示されます。
検出行程で漏れ量の表示が変化せず一定となればそれ以上の検出時間は不要となります。

2.差圧センサーの概要

(1)原理、概要
受圧部には磁性フラットダイアフラムを使用し、差圧による微小変位をインピーダンス変化として検出します。過圧に対しては、ダイアフラムを壁面で保護するので破損することはありません。

(2)概略特性

• 直線性範囲 センサーレンジ： 0～±1000Paまたは2000Pa（機種により異なる）
• 高感度 分解能：1Paまたは0.1Pa（機種により異なる）
• 高耐差圧 標準：5MPa（最大16MPa）・小内容積 0.5mL以下
• 容積変化率 約0.01 mL/kPaまたは0.005 mL/kPa（機種により異なる）

3.差圧検出方式とゲージ圧降下方式（直圧検出方式）の比較

ゲージ圧降下方式は圧力を封入後、圧力降下量を圧力センサーの変化量として直接表示する方式です。

4.各種の検査方式と選定の目安

下記の各種の方式を考慮し組み合わせて、対象ワークに最も適した方式を選択します。
(1)テスト圧による選択

(2)ワークの形状による選択

(3)その他の検査方式応用例多数個取り方式

• 方式：複数のワークを同時にテストします。
• 対象：内容積が小さいワークや、検出力に十分余裕がある時に使用します。加圧時間を長く必要とするとき（変形の影響があるときなど）に使用します。
• メリット　：１個あたりのテスト時間が短縮されます。
• デメリット：測定精度が要求される場合、不良率が大きい場合は使用できません。
  複数の検査治具が必要になります。複数の検査治具が必要になります。

2室同時測定方式

• 方式：同一のワークに個別で測定する２室がある場合、２台のテスターでそれぞれの室に異なるテスト圧を印加し同時にテストを行います。

• メリット：テスト時間が短縮されます。
• デメリット：Ａ室とＢ室の隔壁間で漏れが生じた場合、テスト圧の高いテスターはワークの不良判定、テスト圧の低いテスターはマスター不良判定となるので判定信号の処理を行うとき注意が必要です。
• 排気干渉対策について：
  １台のテスターが先に判定完了し排気を行うと他のテスターの測定値に影響する場合があります。
  ２台が同時に排気を行うよう外部で制御できる機種も用意しています。